往復(fù)真空泵靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí)，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時(shí)45～20000立方米，單級(jí)泵極限壓力約為103帕，雙級(jí)泵可達(dá)1帕。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過濾器，則可抽除含塵氣體。

也可作為前級(jí)泵與羅茨真空泵組成羅茨往復(fù)真空泵機(jī)組
往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設(shè)備，用以從內(nèi)部壓力等于或低于一個(gè)大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復(fù)泵的極限壓力，單級(jí)為4×10～10Pa，雙級(jí)可達(dá)1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復(fù)泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結(jié)晶、真空過濾等方面抽除氣體。
往復(fù)式真空泵對(duì)于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處必須加裝過濾器。
往復(fù)泵的工作原理，如圖2所示。泵的主要部件是氣缸1及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活寨2。活寨的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)3來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。
泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)汪室在等舸內(nèi)從存端向右端話動(dòng)時(shí)。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減少，而形成抽氣過程，此時(shí)容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時(shí)，氣缸內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨著活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓強(qiáng)達(dá)到或稍大于一個(gè)大氣壓時(shí)，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞再自左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又吸進(jìn)一部分氣體，重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，直到被抽容內(nèi)的氣體壓力達(dá)到要求時(shí)為止。
在實(shí)際應(yīng)用中，為了提高抽氣效率，泵多半采用雙作用氣缸，即活塞能在兩個(gè)方向(往復(fù))上同時(shí)進(jìn)行壓縮和抽氣，這主要是依靠配氣閥門來實(shí)現(xiàn)的。國(guó)產(chǎn)的w型往復(fù)泵即是單級(jí)的雙作用泵。

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