真空材料的外表凈化是為了掃除凈盡外表吸附的油污，以減損材料在真空寂的氣體放出。真空材料外表凈化的基本辦法主要是有機溶劑清洗和超引起聽覺的振動波清洗。有機溶劑清洗時，常用的清洗液有軟化水、酒精、丙酮、金屬清洗劑等。
超引起聽覺的振動波清洗的工作原理:向液體導入超引起聽覺的振動波后，液體的緊張運動使部分萌生壓強差。壓強低的局部會萌生數量多的氣泡兒，當壓強從新升高時，這些個氣泡兒會在剎那出現裂縫，因此在液體中萌生沖擊波。沖擊波會將固體外表的油污脫落。超引起聽覺的振動波清洗用的液體普通認為合適而使用乙醇或丙酮。通過超引起聽覺的振動波清洗的器件放到大氣中后，乙醇或丙酮會馬上蒸發，不會在器件外表留下水銹。
真空體腔以及內里器件的氣體放出量，和材料的表平面或物體表面的大小直接有關。固體外表的原子疏密程度大約為2×1019 m-2，思索問題到外表的凹凸不公平，實際的固體外表會吸附數量多的氣體分子。經過打光使外表更加沒有凹凸，可以大大減小表平面或物體表面的大小，因此減損外表吸附的氣體分子。打光主要有玻璃丸噴砂和電解打光兩種手法。
玻璃丸噴砂處置成本低，不過處置后的固體外表光潔度大，放發泄體還是比較多，到現在為止認為合適而使用的越來越少。
電解打光的原理是將金屬器件安放于酸性的電解液中，金屬器件連署陽極，電極和器皿作為負極，通電使金屬器件面向負極的凸起局部先溶解，金屬器件成分中的Fe和Ni原子溶入到電解液中，最后達到平而光滑外表的目標。靈活設置負極電極，則對于筒狀的金屬器件里外外表都可以打光，也可以對金屬器件施行挑選性部分打光。
還有一種特別的外表處置形式，即向真空體腔內導入特別氣體，在體腔內誘發放電，萌生的離子撞擊體腔內壁而取得平而光滑外表。
通過外表凈化的真空體腔和器件，不可以直接用手觸碰，免得手汗中的碳氫化合物和氯化物污染;額外也要盡力防止塵土和水汽(唾沫)等污染物。
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